Friday 22 June 2018
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4 months ago

삼성전자 화성캠퍼스 EUV 라인 ‘첫 삽’

삼성전자가 대규모 투자를 결정한 경기 화성캠퍼스 파운드리(반도체 위탁생산) 라인 건설에 첫 삽을 떴다. 삼성전자는 23일 경기 화성캠퍼스에서 극자외선(EUV) 라인 기공식을 가졌다. 화성 EUV라인은 내년 하반기에 완공해 시험생산을 거쳐 2020년부터 본격 가동될 예정이다. 이번 신규 라인에는 미세공정 한계 극복에 필수적인 EUV 장비가 도입되는 것이 특징이다. EUV는 삼성전자가 향후 반도체 미세공정 기술 리더십을 유지하는 데 핵심 역할을 할 것으로 예상된다. 반도체 산업은 공정 미세화를 통해 집적도를 높이고 세밀한 회로를 구현하며 반도체의 성능과 전력효율을 향상시켜왔다. 삼성전자는 최근 한 자리 수 나노 단위까지 미세화가 진행되면서 보다 세밀한 회로를 구현하기 위해 기존 불화아르곤(ArF) 광원보다 파장이 짧은 EUV 장비의 도

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